MEMS製作用直接描画装置

メーカー名	株式会社 TCK 製
メーカー商品名/型式	MLT-120-SS
性能・仕様	光源：LED (365 nm、i線) 描画速度：400 mm2/min 最小線幅：500 nm以下描画エリア：100×100mm
用途	MEMSセンサ又はアクチュエータの配線パターン、微細構造パターンの作製、マイクロ分析システムの微小流路パターンの作製など
対象試料	ワークサイズ：127×127 mm (5×5 inch)
利用料金	2,600円 / 時間
機器利用研修費	受講料5,000円
設置場所	神戸
注意事項	機器の対象試料等について、担当者との事前打ち合わせが必要
設置年月	2022年03月
担当部署	技術企画部
業務コード	3012160

本装置は公設工業試験研究所等における機械振興補助事業（令和2年度）の補助を受けて設置しました。

微細パターン感光露光 MEMS フォトマスク

MEMS製作用 直接描画装置