反射分光膜厚計

メーカー名	大塚電子(株)
メーカー商品名/型式	反射分光膜厚計／FE-3000
性能・仕様	試料サイズ(最大)：W200mm×D200mm×H7mm、測定可能な層数：5層、測定可能な光学膜厚：1nm～40μm、測定波長範囲：230nm～800nm、測定スポットサイズ：φ10μm、自動制御ステージによりマッピング測定が可能
用途	各種基板上に形成した薄膜の膜厚および屈折率の測定
対象試料	各種基板上に形成した薄膜
利用料金	1,400円／時間
機器利用研修費	受講料4,000円
設置場所	神戸
注意事項
設置年月	2012年10月
担当部署	材料・分析技術部化学材料グループ
業務コード	3112010

膜厚、屈折率、薄膜、絶対反射率