薄膜（回転対陰極式）Ｘ線回折装置

メーカー名	(株)リガク
メーカー商品名/型式	SmartLab9kW　薄膜評価用試料水平型
性能・仕様	出力：45kV、200mA（9kW）　ターゲット：銅　入射角光学系：Cross Beam Optics、Ge2結晶、スキャンモード：θs/θd連動、θs、θd単独：対称スキャン　微小入射角スキャン、インプレーンスキャン、ゴニオメータ半径：300mm
用途	結晶試料の同定・定量分析および結晶性評価。平行ビームの特徴を活かした微小入射角光学系での深さ方向分析、インプレーン光学系での極薄膜の構造評価
対象試料	セラミックス、金属、高分子材料
利用料金	3,500円／時間
機器利用研修費	受講料4,000円
設置場所	神戸
注意事項	薄膜試料に限定
設置年月	2010年1月
担当部署	材料・分析技術部無機材料グループ
業務コード	3111860

XRD、薄膜、斜入射、GIXD、エピタキシャル、配向、極点、pole figure、逆格子空間マッピング、RSM、高温、その場測定、応力