エネルギー分散型Ｘ線分析装置付走査型電子顕微鏡

メーカー名	日本電子株式会社
メーカー商品名/型式	JSM-7001F (SEM), ApolloXV Genesis-XM2(EDS)
性能・仕様	電子銃：サーマルFE電子銃２次電子分解能：1.2nm(30kV), 3.0nm(1kV) 電動ステージ(70×50mm)、試料最大高さ：40mm Ｘ線検出器：シリコンドリフト検出器 (Be－Uを検出可能)
用途	破断面の形状観察や、微小な異物の観察・成分分析、変色域の元素分析、材料の成分分析などが可能です。また、線分析・面分析により、含まれる元素の分布を知ることが可能です。
対象試料	金属，半導体，セラミックス，プラスチック等（非導電性の試料の場合、蒸着等の導電性処理が必要になることがあります。）
利用料金	3,100円／時間
機器利用研修費	受講料5,000円
設置場所	神戸
注意事項	機器利用の場合は、最初に機器講習を受けていただきます。（受講料5,000円と講習時間分の利用料金が必要です。）
設置年月	2009年02月
担当部署	生産技術部金属・加工グループ
業務コード	3111470

本装置は公設工業試験研究所等における機械設備拡充事業等補助事業の補助を受けて設置しました。

SEM, FE-SEM, FESEM, 電顕, EDS