電界放出型分析走査電子顕微鏡

メーカー名	日本電子
メーカー商品名/型式	JSM-7610F
性能・仕様	セミインレンズ・サーマルショットキー電界放出型電子銃、２次電子分解能: 1.0nm(15kV), 1.3nm(1kV/GB)、加速電圧: 0.1kV-30kV、最大電流: 200nA(15kV)、検出器:上方検出器・下方検出器、ジェントルビーム (GB)、エネルギーフィルター (r-filter)、低角度反射電子検出器 (LABE)、電動ステージ(70×50mm)、試料最大高さ：30mm、Ｘ線検出器：シリコンドリフト検出器 (ΔE<129eV)、分析可能元素: B ～U
用途	破断面の形状観察や、微小な異物の観察・成分分析、変色域の元素分析、材料の成分分析などが可能です。また、線分析・面分析により、含まれる元素の分布を知ることが可能です。
対象試料	非磁性金属，半導体，セラミックス，プラスチック等（非導電性の試料の場合、蒸着等の導電性処理が必要になることがあります。）
利用料金	3,500円／時間
機器利用研修費	受講料5,000円
設置場所	神戸
注意事項
設置年月	2015年3月6日
担当部署	材料・分析技術部無機材料グループ
業務コード	3111450

本装置は公設工業試験研究所等における機械設備拡充事業等補助事業の補助を受けて設置しました。

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