表面形状解析装置

メーカー名	(株)東京精密
メーカー商品名/型式	サーフコム／575A-3DF
性能・仕様	測定範囲：＋－200μｍ（Ｚ方向）測定面積：100mm（X方向）×100mm（Y方向）記録倍率：100～100、000倍（Z方向）解析パラメータ：52種
用途	機械加工表面の形状を、非接触式と触針式センサで測定し、形状を解析する
対象試料	機械加工物
利用料金	1,900円／時間
機器利用研修費	受講料3,000円
設置場所	神戸
注意事項
設置年月	1993年02月
担当部署	生産技術部機械システムグループ
業務コード	3106730

本装置は公設工業試験研究所等における機械設備拡充事業等補助事業の補助を受けて設置しました。

表面粗さ輪郭形状 2次元測定