三次元表面構造解析顕微鏡装置

メーカー名	Zygo社
メーカー商品名/型式	三次元光学プロファイラーシステム／NewView6300
性能・仕様	測定方式：走査型白色干渉法垂直分解能：0.1nm 垂直測定範囲：1nm～15000μm 光源：白色LED 観察視野：0.04×0.03mm～150×150mm（スティッチング機能使用時）
用途	対象となる材料や加工表面をある範囲で一度に計測できるだけでなく、３次グラフィック表示の計測結果から任意の断面を抽出し、表面粗さのパラメータや、微細な溝の幅や深さを測定することが可能
対象試料	精密微細加工面、加工面、メッキ面、電子部品
利用料金	1,900円／時間
機器利用研修費	受講料5,000円
設置場所	神戸
注意事項
設置年月	2006年01月
担当部署	生産技術部機械システムグループ
業務コード	3106614

本装置は公設工業試験研究所等における機械設備拡充事業等補助事業の補助を受けて設置しました。

走査型白色干渉法測定分解能0.1n（ナノ）スティッチング測定表面性状測定非接触測定マスク処理各種フィルタリング