機器利用
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複合ビーム成膜装置
| メーカー名 | 誠南工業(株) |
|---|---|
| メーカー 商品名/型式 |
複合ビーム成膜装置 |
| 性能・仕様 | ＜レーザー＞Nd:YAG-FHG（波長266nm）、繰返周波数 10Hz ＜成膜チャンバ＞ターゲット 最大φ20mm×5mmt、基板 最大25×25×1mm、室温～600℃、RHEED |
| 用途 | セラミックス材料および金属材料の薄膜を形成させる。 |
| 対象試料 | セラミックス材料、金属材料 |
| 利用料金 | 3,800円／時間 |
| 機器利用 研修費 |
受講料4,000円 |
| 設置場所 | 神戸 |
| 注意事項 | |
| 設置年月 | 1999年4月 |
| 担当部署 | 材料・分析技術部 無機材料グループ |
| 業務コード | 3060960 |
レーザーアブレーション、PLD、パルスレーザー堆積、エキシマレーザー、ネオジムヤグレーザー、YAG、薄膜、成膜、アシスト照射、ラジカル照射、RHEED、反射高速電子線回折、酸化物