MEMS製作用ワイヤーボンダー

メーカー名	TPTジャパン(株)
メーカー商品名/型式	HB05
性能・仕様	超音波システム PLLC62kHzトランスデューサー、MAX2000mW、対応線径ウェッジφ17～φ75μm、ボールφ17～φ50μm、ヒーターステージ φ90mm MAX250℃
用途	金などの超微細ワイヤを用いて、集積回路上の電極と、プリント基板の電極などを、電気的に接続する。
対象試料	電極：Al, Au等、ワイヤー：Al, Au
利用料金	1,200円／時間
機器利用研修費	受講料3,000円
設置場所	神戸
注意事項	機器の対象試料等について、担当者との事前打ち合わせが必要
設置年月	2012年12月
担当部署	技術企画部
業務コード	3012150