MEMS製作用スパッタリング装置

メーカー名	神港精機(株)
メーカー商品名/型式	SDV4320
性能・仕様	ターゲット φ100mm×3ヶ、処理基板 φ200mm、真空性能到達圧力 1×10-4Pa以下、カソード電源DC、基板機構、逆スパッタ機構、基板加熱機構　300℃
用途	基板上にターゲット材料を成膜する
対象試料	ターゲット：Au, Ti, Cr, Al等、基板：Si, glass等
利用料金	3,200円／時間
機器利用研修費	受講料4,000円
設置場所	神戸
注意事項	機器の対象試料等について、担当者との事前打ち合わせが必要
設置年月	2012年12月
担当部署	技術企画部
業務コード	3012100