走査型プローブ顕微鏡

メーカー名	株式会社日立ハイテクサイエンス（旧SIIナノテクノロジー株式会社）
メーカー商品名/型式	環境制御型ユニットE-sweep
性能・仕様	検出系：光テコ方式　観察範囲：20μｍ□スキャナもしくは150μm□スキャナ　水平分解能：マイカの原子像観察可　測定モード：原子間力顕微鏡（AFM）, ダイナミックフォースモード（DFM）, 摩擦力顕微鏡（FFM）, 位相モード（PM）, マイクロ粘弾性顕微鏡（VE-AFM/DFM）, 電流同時AFM,表面電位顕微鏡（KFM）, 磁気力顕微鏡（MFM）, 液中AFM/DFM, ナノインデンテーション　観察環境：大気圧〜真空下（1.0 x 10-5 Pa）　温度制御：-120（液体窒素使用）〜250℃
用途	試料の表面形状を高分解能で観ることができ、表面粗さの評価や粒子解析も可能です。また、物理的性質（摩擦力、磁気力、表面電位、粘弾性）の分布状態を観察することができます。加えて、液中、真空中、低温状態、高温状態といった種々の環境下での観察にも対応しています。さらに、ナノインデンターを取付けることで、マイクロ/ナノオーダーでの表面の硬さ評価も可能です。
対象試料	ゴム・プラスチック、有機/無機薄膜、半導体、磁気記録媒体、光記録媒体など
利用料金	3,200円／時間
機器利用研修費	受講料5,000円
設置場所	神戸
注意事項	・試料サイズは25 mmφ, 厚さ10 mm以内（ナノインデンテーションは厚さ5mm以内）・試料表面の凹凸は、20μm□スキャナが1.5μm以下、150μm□スキャナが5μm以下・カンチレバーは試料・測定モードに応じて各自で持参して下さい
設置年月	2011年9月
担当部署	材料・分析技術部化学材料グループ
業務コード	3111500

本装置は公設工業試験研究所等における機械設備拡充事業等補助事業の補助を受けて設置しました。

機器利用に関するお問い合わせ

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